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Die Heizung besteht aus einer wassergekühlten INOTHERM-Heizkassette. Somit entfällt jede von Lüftersystemen und Wärmetauschern ausgehende Staubentwicklung. Die thermische Belastung des Cleanrooms wird auf ein Mindestmaß reduziert.
Mit dem INOTHERM Diffusions-, Oxidations- und LPCVD-System wurde ein Anlagenkonzept realisiert, welches allen technischen und technologischen Anforderungen des ULSI-Niveaus gerecht wird.
Der konsequente modulare Aufbau und die Verfügbarkeit einer Vielzahl von unterschiedlichen Teilsystemen ermöglichen es dem Anwender, das für seine Zwecke optimale Gesamtsystem zusammenzustellen.
Auf Grund ihrer sehr flexiblen Konzeption sind INOTHERM-Systeme in Standardausführung und nach Kundenspezifikation lieferbar.
Der INOTHERM 1-Rohr-Diffusionsofen eignet sich hervorragend für sämtliche Hochtemperaturprozesse die in der Industrie zum Einsatz kommen. Der Diffusionsofen kann mit wassergekühlten INOTHERM-Heizkassetten bestückt werden. Dadurch entfällt jede von Lüftersystemen und Wärmetauschern ausgehende Staubentwicklung. Die thermische Belastung des Raumes wird somit auf ein Minimum reduziert.
Der kompakte Aufbau garantiert hohe Flexibilität und Servicefreundlichkeit. Bei der Vielzahl an zusätzlichen zur Verfügung stehenden Baugruppen wie PC-Master- Steuerung, Gassytemen, Einfahrmaschinen etc., kann der Ofen bis zur vollautomatischen Diffusions- oder LPCVD-Anlage für horizontal- oder Vertikalbetrieb ausgebaut werden.
INOTHERM -Durchlauföfen sind Muffelöfen, die sich durch universelle Verwendbarkeit, kurze Aufheizzeiten, einfache Bedienung und hohe Zuverlässigkeit auszeichnen. Sie sind bis zu 24 Heizzonen lieferbar.
Technische Daten
Anwendungsbereich: Aushärten von Gießharz (Printtransformatoren, Übertrager, Drosseln)
Leistungsmerkmale:
Anwendung: Zur Wärmebehandlung von Aluminiumteilen in großer Menge ( Turbinenschaufeln )
Leistungsmerkmale:
Anwendungsbereich: Aushärten von Gießharz (Printtransformatoren, Übertrager, Drosseln)
Leistungsmerkmale:
INOTHERM – Heizkassetten bestehen aus einer kompakten Einheit (Kassetten) und sind leicht auszutauschen.
Technische Daten:
ALOX eignet sich hervorragend als Isoliermaterial für sämtliche Hochtemperaturprozesse, welche in der Halbleiter- und Hybridferigung zur Anwendung kommen.
Es kann als Stopf- und Füllmaterial für Dehnfugen, Dichtungen, Ofenisolierungen und Heizkassettenisolierungen eingesetzt werden.
Die Faser ist elastisch und weitestgehend beständig gegen chemische Angriffe aller Art mit Ausnahme von Dämpfen aus Fluorwasserstoff- und Phosphorsäuren sowie konzentrierten Alkalien.
Technische Daten:
Technische Daten:
Ihr Partner für Industriewärmegeräte in der Halbleiterindustrie