1150 x 1450 x 1620 mm
Die Heizung besteht aus einer wassergekühlten INOTHERM-Heizkassette. Somit entfällt jede von Lüftersystemen und Wärmetauschern ausgehende Staubentwicklung. Die thermische Belastung des Cleanrooms wird auf ein Mindestmaß reduziert.
Die INOTHERM-Anlage kann für folgende Standardprozesse geliefert werden:
- LPCVD-Polysilicium (Ramped)
- LPCVD-Polysilicium (Flat)
- LPCVD-Siliciumnitrid
- LPCVD-Hochtemperaturoxid
- Temperung mit N2
- Temperung mit H2 bzw. (Formiergas)
- Trockenoxidation mit O2 und HCl
- Trockenoxidation mit O2 und TCA - Feuchtoxidation mit H2/O2 und HCl (external torch)
- Feuchtoxidation mit H2/O2 und TCA (external torch)
- Phosphordiffusion mit POCl3
- Bordiffusion mit BBr3
Der mechanische Aufbau ist kompakt, gestattet aber trotzdem einen schnellen und sicheren Service.
Das INOTHERM Cantilever Chargiersystem mit integriertem Rohrverschluss gestattet das Chargieren praktisch ohne Partikelgeneration und gewährleistet den vakuumdichten bzw. gasdichten Verschluss des Reaktionsrohres. Eine mechanisch und thermisch stabile Ausführung des Paddles garantiert die exakt reproduzierbare Positionierung der Charge im Reaktionsraum. Ein erschütterungsfreier Lauf auf einer Präzisionsführungen tragen wesentlich zur Sicherung geringer Partikelkontamination der Wafer bei.
Dies gewährleistet auch bei einem „Absturz“ des PC`s die volle Funktionstüchtigkeit der Anlage. Ein komfortabler Schritteditor erlaubt ein einfaches Editieren, Kopieren und Zusammenstellen der Schritte. Die Schrittlängen können nicht nur zeitabhängig, sondern in Funktion beliebiger Prozessparameter gewählt werden Vernetzung der Anlagen. Das Einbinden der Anlage in ein PC-Netzwerk eröffnet neue Möglichkeiten. Die Bedienung, Programmierung und Visualisierung der Anlage kann von irgendeinem PC im Netzwerk, z. B. vom Büro des Technologieingenieurs, erfolgen. Das fest installierte Sicherheits- und Überwachungssystem verhindert anlagengefährdende Kombinationen. Ein umfangreiches Schlüssellevelsystem lässt die Zugriffsrechte auf Programme bis auf den einzelnen Prozessparameter mit Wertebereich sowie auf die Bedienung der Anlage definieren. Eine optimal zugeschnittene Visualisierung hilft zur Überwachung der Prozessabläufe. Durch graphische und numerische Darstellung der relevanten Prozessparameter (Gaslaufplan) ist es leicht, den Überblick zu behalten. Alle Systeme sind auch ohne Programm von Hand über den PC bedienbar. Durch eine Windowskonforme Bedienung wird die Einarbeitungszeit erheblich reduziert.
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